高纯气体的分析是一个复杂的过程，不仅需要高灵敏度的检测器，还需要样品本身的特性和背景，如吸附、取样和分析过程中是否有空气混入，系统、系统的死体积等环节。氦离子气相色谱仪已成为国内专业的高纯气体分析系统，并顺利完成分析气体中的微量杂质，尤其是ppb级杂质。

　　

　　氦离子气相色谱仪适用于高纯气体和电子工业气体中痕量杂质的检测，检测浓度为5ppb。仪器配备高灵敏度氦电离检测器，进样阀配备吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校准系统，保证不同背景气体样品的进样量。
 

　　

　　氦离子气相色谱仪适用于高纯氢气、氧气、氩气、氮气、氦气、氖气、氪气、氙气、二氧化碳等气体中微量杂质的检测。仪器配备高灵敏度氦电离（PDHID）检测器，采用中心切割反吹扫技术，配备带吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气净化器。通过无死体积采样或在线采样，一次性完成上述高纯气体中H2、O2(AR)、N2、CH4、Co、CO2或C1-C4等碳氢化合物等常见杂质的检测，具有检测限达到ppb级，重复性RSD≤1%。

　　

　　氦离子气相色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体和电子工业气体中微量杂质的检测。以气相色谱仪为载体，配备氦电离（PDHID）检测器；采用四阀五柱中心切割反吹扫技术。取样、切换阀均为六通或十通阀，带吹扫保护气路，以上部件与氦气净化器和死体积取样阀一起构成了一套完整的高纯气体分析解决方案。