高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可作为惰性气体用于系统清洗、屏蔽和增压；它用于化学气相沉积、溅射和退火。高纯氩气也可用作色谱载气。氩气广泛用于填充弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气体；在钛、钴等活性金属的生产中用作保护气体；用于黑色冶金中特殊钢的转化。

　　高纯氩分析色谱仪采用加氩放电电离检测器，主要用于高纯氩和超纯氩中H2、O2、N2、CH4、CO和CO2的分析。所有连接接口均采用1/8"VCR，保证仪器的气密性。安装的阀门经过严格的泄漏测试，安装在带有Ar气吹扫的外壳内，与大气*隔离。因此，环境污染以确保仪器具有更高的稳定性、灵敏度和更长的使用寿命。

　　高纯氩分析色谱仪适用于高纯气体、超高纯气体和电子工业气体中痕量杂质的检测。高纯氩气专用色谱仪配备氩离子化（AID）检测器采用6通或10通阀，带吹扫保护气路。以上部件与净化器、无死体积进样阀等组成一整套高纯气体分析整体及解决方案。

　　高纯氩分析色谱仪的性能特点：

　　1、4.3英寸触摸屏液晶中文显示，实时显示各通道温度和运行情况；

　　2、开机自检，五级独立控温；

　　3、任何传感器开路，仪器自动显示并报警；

　　4、高精度双稳定气路，可同时安装四个检测器；

　　5、四个外部事件功能支持多阀切换；

　　6、可选择电子流量压力显示系统和内置工作站设备。