氩气纯度，通常采用气相色谱仪进行分析。随着我国经济建设的发展，氩气生产的单位愈来愈多，因此，选用合适的氩气分析用气相色谱仪成了一些单位迫切需要解决的问题。

　　高纯氩气相色谱分析仪适用于高纯气体、超高纯气体及电子工业用气体中痕量杂质的检测。此仪器配备氩离子化(AID)检测器，采用带吹扫保护气路的六通或十通阀。

　　许多大中型空分设备带有提氩装置，其生产的氩气纯度，对于空分设备制造厂来说，以出精氩塔的纯度为考核要求，不计入压氩、充灌等部分造成的影响。

　　但对于氩气生产工厂来说，终产品有两种：一种产品是液态氩。这种产品的纯度基本上可和精氨塔纯度保持一致,因为液态氢从精氩塔放入贮液槽的过程中受污染环节比较少;另一种产品是气态氩。

　　作为载气的高纯氩气以一定流速流经处在高频振荡电磁场中的石英管时，在管外施加1500V高电压，使石英管内氩气原子在100兆赫的高频电磁场振荡下运动，由于氩原子的电离能低于受振荡后的平均自由程能量，因而氩原子在管内被电离形成离子、电子及中性粒子的混合气体---等离子体，并且氩原子受激发放电产生弧光。当被测气体经分离柱后进入检测器中时，由于*性气体杂质的分子N2，H2，CH4等吸收并粹灭弧光，而O2和CO分子受激发后产生增强弧光。所产生光的强度变化与被测成分浓度成正比，故可以借此进行杂质定量分析。