高纯气体分析色谱适用范围
　　高纯气体分析色谱适用于高纯气体和电子工业用气体中痕量杂质的检测，zui小检测浓度可达5ppb。高纯气体分析色谱配备高灵敏的氦离子化检测器，采用*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量一致。
　　高纯气体分析色谱适用于高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中痕量杂质的检测，高纯气体分析色谱配备高灵敏度的氦离子化检测器，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成上述高纯气体中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。